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壓力傳感器新型優點技術和溫差特性
日期:2013年05月16日  文章點擊數:

新型壓力傳感器的優點是:
 ① 頻率響應高(例如有的產品固有頻率達1.5兆赫以上),適于動態測量;
 ② 體積?。ɡ纈械牟吠餼犢紗?.25毫米),適于微型化;
 ③ 精度高,可達0.1~0.01%; 
 ④ 靈敏高,比金屬應變計高出很多倍,有些應用場合可不加放大器;
 ⑤ 無活動部件,可靠性高,能工作于振動、沖擊、腐蝕、強干擾等惡劣環 境。其缺點是溫度影響較大(有時需進行溫度補償)、工藝較復雜和造價高等。  
缺點是: 
① 溫度特性差,由于壓阻式壓力傳感器是用半導體材料制作的,受溫度影 響較大,因此,在溫度變化大的環境中使用時,必須進行溫度補償。 
② 工藝復雜,對研制條件要求高而嚴格,尤其是擴散雜質、燒結、封裝工 藝等比其他傳感器要復雜的多,因而成本也相對要高。 應用  壓阻式傳感器廣泛地應用于航天、航空、航海、石油化工、動力機械、生物醫學工程、氣象、地質、地震測量等各個領域。在航天和航空工業中壓力是一個關鍵參數,對靜態和動態壓力,局部壓力和整個壓力場的測量都要求很高的精度。壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如,用于測量直升飛機機翼的氣流壓力分布,測試發動機進氣口的動態畸變、葉柵的脈動壓力和機翼的抖動等。在飛機噴氣發動機中心壓力的測量中,使用專門設計的硅壓力傳感器,其工作溫度達500℃以上。在波音客機的大氣數據測量系統中采用了精度高達0.05%的配套硅壓力傳感器。在尺寸縮小的風洞模型試驗中,壓阻式傳感器能密集安裝在風洞進口處和發動機進氣管道模型中。單個傳感器直徑僅2.36毫米,固有頻率高達300千赫,非線性和滯后均為全量程的±0.22%。在生物醫學方面,壓阻式傳感器也是理想的檢測工具。已制成擴散硅膜薄到10微米,外徑僅0.5毫米的注射針型壓阻式壓力傳感器和能測量心血管、顱內、尿道、子宮和眼球內壓力的傳感器。圖3是一種用于測量腦壓的傳感器的結構圖。壓阻式傳感器還有效地應用于爆炸壓力和沖擊波的測量、真空測量、監測和控制汽車發動機的性能以及諸如測量槍炮膛內壓力、發射沖擊波等兵器方面的測量。此外,在油井壓力測量、隨鉆測向和測位地下密封電纜故障點的檢測以及流量和液位測量等方面都廣泛應用壓阻式傳感器。隨著微電子技術和計算機的進一步發展,壓阻式傳感器的應用還將迅速發展。 
 壓阻式壓力傳感器優點:
1. 頻率響應高,f0可達1.5M;
2. 體積小、耗電少; 
3. 靈敏度高、精度好,可測量到0.1%的精確度;
4. 無運動部件(敏感元件與轉換元件一體)。
壓阻式壓力傳感器缺點:
1. 溫度特性差;
2. 工藝復雜。 

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